Кремний - материал наноэлектроники
Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях.
Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.
Краткое оглавление:
- Предисловие
- Введение
- Глава 1. Физические принципы наноэлектроники
- Глава 2. Кремниевая одноэлектроника
- Глава 3. Оптические и фотоэлектрические свойства квантово-размерных структур Si—Ge
- Глава 4. Методы получения самоорганизованных Si—Ge- наноструктур
- Глава 5. Синтез проводящих и полупроводниковых соединений в кремнии
- Глава 6. Формирование наноразмерных структур при ионном распылении поверхности полупроводников
- Глава 7. Нанокристаллы кремния, получаемые разными способами
- Глава 8. Квантовые точки из монокристаллического Si, сформированные ионной имплантацией в пленках SiO2
- Глава 9. Перспективы кремниевой наноэлектроники
- Заключение
- Список принятых сокращений
Автор: Герасименко Н. Н., Пархоменко Ю. Н.
Издательство: Техносфера
Серия: Мир материалов и технологий
Год издания: 2007
Страниц: 352
ISBN: 978-5-94836-101-7
Качество: хорошее
Формат: DjVu (о формате)
Скачать книгу (6,6 МБ):
deposit_rumit 09/10/10 Просмотров: 1362
0